im体育入口:C-V测量技术、技巧与陷阱——基于数字源表的准静态电容测
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简介
  (SMU)[2]。通过第一台SMU将一个恒定电流加载到待测器件(DUT)的一个节点上。这台SMU还负责测量该节点上的电压和时间。同时,第二台SMU测量DUT另一个节点输出的电流。然后可以利用下列公式计算出电容:  这种方法通常可用于测量大小为100~400pF斜率为0.1~1V/S的电容。  传

  (SMU)[2]。通过第一台SMU将一个恒定电流加载到待测器件(DUT)的一个节点上。这台SMU还负责测量该节点上的电压和时间。同时,第二台SMU测量DUT另一个节点输出的电流。然后可以利用下列公式计算出电容:

  这种方法通常可用于测量大小为100~400pF斜率为0.1~1V/S的电容。

  传输线的电容测量通常采用射频技术。其中利用矢量网络分析仪测量散射参数(S参数),即入射波的反射和传输系数。

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